二次离子质谱
应用:痕量杂质定性定量(标样法)分析
优点:检测限可达PPM,甚至PPB量级,能检测含氢在内的所有元素及同位素,分析化合物组分及有机大分子
结构,能够进行微区成分的成像及深度剖面分析
缺点:定量差,样品表面需要平整,破坏样品
应用领域:半导体及微电子领域:基体表面痕量杂质分析
环境领域:大气中微粒成分分析、地质样品
纳米材料的结构
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