二次离子质谱
发布时间: 2019-10-16 13:27:46

二次离子质谱


应用:痕量杂质定性定量(标样法)分析



优点:检测限可达PPM,甚至PPB量级,能检测含氢在内的所有元素及同位素,分析化合物组分及有机大分子

             结构,能够进行微区成分的成像及深度剖面分析


缺点:定量差,样品表面需要平整,破坏样品


应用领域:半导体及微电子领域:基体表面痕量杂质分析

环境领域:大气中微粒成分分析、地质样品

纳米材料的结构

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